1、分辨率     

影響掃描電鏡的分辨本領的主要因素有：A. 入射電子束束斑直徑；B. 入射電子束在樣品中的擴展效應；C. 成像方式及所用的調制信號。

2、放大倍數(shù)       

Sem掃描電鏡的放大倍數(shù)可表示為M =Ac/As式中，Ac—熒光屏上圖像的邊長；As—電子束在樣品上的掃描振幅。一般地，Ac 是固定的(通常為100 mm)，則可通過改變As 來改變放大倍數(shù)。目前，大多數(shù)商品掃描電鏡放大倍數(shù)為20～20,000倍，介于光學顯微鏡和透射電鏡之間，即SEM掃描電鏡彌補了光學顯微鏡和透射電鏡放大倍數(shù)的空擋。

3、景深       

掃描電子顯微鏡的景深比透射電子顯微鏡大10倍，比光學顯微鏡大幾百倍。由于圖像景深大，所得掃描電子像富有立體感。

4、襯度。襯度包括：表面形貌襯度和原子序數(shù)襯度。表面形貌襯度由試樣表面的不平整性引起。