臺式掃描電鏡能譜一體機是集成化成像分析系統(tǒng)。使用它既可以觀察樣品的形貌，同時又能進行元素的定性和定量分析。除了元素的點分析，元素的線面掃功能可以進一步分析元素的分布情況。

不同價位的臺式掃描電鏡能譜一體機略有不同，主要是以下三個方面的質量差異。

1、電子顯微鏡由鏡筒、真空裝置和電源柜三部分組成。

2、鏡筒主要有電子源、電子透鏡、樣品架、熒光屏、檢測器等部件。這些部件通常從上到下組裝成一個圓柱體。

3、電子透鏡用于聚焦電子，是電子顯微鏡鏡筒中很重要的部分。一般使用磁透鏡，有時也使用靜電透鏡。

它利用與鏡筒軸對稱的空間電場或磁場，使電子軌跡向軸彎曲，形成焦點。其作用與光學顯微鏡中的光學透鏡（凸透鏡）一樣，使光束聚焦，故稱為電子透鏡。光學鏡頭的焦點是固定的，而電子鏡頭的焦點是可以調節(jié)的，因此電子顯微鏡沒有光學顯微鏡那樣的可移動鏡頭系統(tǒng)。

大多數(shù)現(xiàn)代電子顯微鏡都使用電磁透鏡，電子被非常穩(wěn)定的直流激勵電流通過帶極靴的線圈產(chǎn)生的強磁場聚焦。電子源由釋放自由電子的陰極、柵極和以環(huán)形加速電子的陽極組成。陰極和陽極之間的電壓差需要很高，一般在幾千伏到三百萬伏之間。它能以均勻的速度發(fā)射并形成電子束，因此加速電壓的穩(wěn)定性不低于萬分之一。

樣品可以穩(wěn)定地放置在樣品架上，常有可以改變樣品的裝置（如移動、旋轉、加熱、冷卻、拉長等）。

電子顯微鏡按其結構和用途可分為透射電子顯微鏡、掃描電子顯微鏡、反射電子顯微鏡和發(fā)射電子顯微鏡。