鏡筒襯管的維護和清洗

使用專用工具拆卸和清洗掃描電鏡鏡筒襯管，清洗前準備好鏡筒襯管清洗棒、金屬鏡筒襯管拆卸工具和鏡筒襯管光闌拆卸工具。

重裝鏡筒襯管光闌：使用無毛布或無毛手套。注意：在重新安裝光闌組件與安裝鏡筒襯管之前，仔細檢查清洗過的部件，不應留有有機物殘渣。只能用小鑷子來夾光闌。

光闌放在光闌帽內，當組件Z終安裝在襯管內后光闌的較平滑一面應朝上，擰上光闌帽。

二次電子探測器維護

電子探測器維護包括三個主要組成部分，它們需要階段維護。它們包括閃爍體本身、閃爍體固定圈和柵網(wǎng)。由于閃爍體經(jīng)過二次電子長時間的轟擊，會造成閃爍體表面污染，為此會造成閃爍體產(chǎn)生電荷積累而發(fā)生放電現(xiàn)象以及閃爍體發(fā)光效率降低，使圖象的信噪比下降。

在觀察圖象時可以觀察到SEM掃描電鏡探測器的放電現(xiàn)象，在光柵掃描期間形成“脈沖閃爍”或“斑點”，有時即使在電子束關閉狀態(tài)時也可在普通操作對比度下觀察到這種放電現(xiàn)象。這些周期性出現(xiàn)的閃爍要與由于低信噪比引起的統(tǒng)計噪音和由于高對比度設置產(chǎn)生的光電倍增噪音區(qū)別開。當信號電平、信號質量及分辨率下降非常明顯時，就應更換閃爍體了。

真空系統(tǒng)維護

掃描電鏡物鏡光闌桿、樣品室門和發(fā)射室的“O”型圈暴露后應拆下清洗。只需要在樣品室門打開時檢查一下，如果沾有毛絨或灰塵只要簡單地用酒精沾濕的無毛布擦拭整個“O”型圈即可。物鏡光闌桿上的“O”型圈每次清洗后都需要涂抹很少量的硅樹脂真空脂，應盡可能少量使用，不能涂多。

隔振和減震系統(tǒng)的維護

振動來源于外界和并且有賴于系統(tǒng)內部的穩(wěn)定性。SEM掃描電鏡系統(tǒng)抗振能力包括主動避振能力和被動避振能力。因此對減振避震系統(tǒng)的充分了解有利于提高維護意識。