臺(tái)式掃描電鏡是利用二次電子信號(hào)成像來(lái)觀(guān)察樣品的表面形態(tài)。sem掃描電鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀(guān)形貌觀(guān)察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀(guān)成像。

臺(tái)式掃描電鏡是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過(guò)對(duì)這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測(cè)試試樣表面形貌的觀(guān)察。sem掃描電鏡可以直接觀(guān)察觀(guān)察納米材料，進(jìn)行材料斷口的分析，直接觀(guān)察原始表面等。

sem掃描電鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀(guān)形貌觀(guān)察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀(guān)成像。試樣制備簡(jiǎn)單，目前的sem掃描電鏡都配有X射線(xiàn)能譜儀裝置，這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織形貌的觀(guān)察和微區(qū)成分分析（即SEM－EDS），因此它是當(dāng)今十分重要的科學(xué)研究?jī)x器之一。

所謂納米材料，是指材料的顆?；蛭⒕С叽缭?.1－100nm范圍內(nèi)，在保持表面清潔的條件下，通過(guò)壓制形成的固體材料納米材料具有許多不同于晶態(tài)和非晶態(tài)的物理和化學(xué)性質(zhì)納米材料具有廣闊的發(fā)展前景，將成為未來(lái)材料研究的sem掃描電鏡的一個(gè)重要特點(diǎn)是分辨率高現(xiàn)在它被廣泛用于觀(guān)察納米材料。

臺(tái)式掃描電鏡可以直接觀(guān)察直徑為100毫米、高度為50毫米或更大尺寸的樣品，不受樣品形狀的限制，也可以觀(guān)察到粗糙的表面，避免了樣品制備的麻煩并能真實(shí)觀(guān)察樣品本身不同物質(zhì)成分的對(duì)比度（背反射電子圖像）。